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產品名稱:
蘇州AMAYA天谷 剛性和柔性的常壓CVD設備
產品型號:
玻璃基板沉積設備
產品展商:
日本AMAYA天谷制作所
折扣價格:
0.00 元
關注指數:78
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AMAYA株式會社天谷制作所玻璃基板沉積設備
常壓CVD裝置，準備了滿足顧客需求的產品陣容。同時，定做也對應。
對應于半導體制造用、太陽能電池制造用等各種用途。從少量生產到大量生產
形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各種膜種
采用SiC托盤防止重金屬污染，從低溫（200℃）到中溫（500℃）區域可以廣泛成膜
蘇州AMAYA天谷 剛性和柔性的常壓CVD設備
的詳細介紹
日本AMAYA株式會社天谷制作所
用于剛性和柔性設備（如FPD）的常壓CVD設備
玻璃基板沉積設備
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低溫（150~300°C）處理
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高質量 SiO2 成膜低應力
、等離子體損傷、小顆粒
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占地面積小，降低了安裝和維護成本
，無需真空或等離子處理低價
特征
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這是第4.5代玻璃基板沉積系統，與FPD等剛性和柔性器件兼容。
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配備兩個氣頭，有效成膜寬度為760mm，吸附式加熱階段為吸附式加熱階段，溫度可控性±2%以內。
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可以在4°C下在5.250代玻璃基板上以100片/小時或更高的速度沉積2nm SiO25薄膜，并且可以保證薄膜厚度均勻性在10%以內。
性能
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均勻的薄膜厚度
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±10%
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支持的玻璃基板尺寸
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4.5 代
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氣體種類
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SiH4，O 3， PH3， B2H6
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薄膜沉積溫度
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150~300°C
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主要規格
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設備尺寸
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1300毫米（寬） x 7350毫米（深） x 2000毫米（高）
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氣頭
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配備兩個有效寬度為 760 mm 的氣頭，用于沉積
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