分光干渉式晶圓膜厚儀 SF-3 大塚電子Otsuka日本OTSUKA

即時檢測

WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板于減薄制程中的厚度變化
(強酸環境中)

產品特色

非接觸式、非破壞性光學式膜厚檢測
采用分光干涉法實現高度檢測再現性
可進行高速的即時研磨檢測
可穿越保護膜、觀景窗等中間層的檢測
可對應長工作距離、且容易安裝于產線或者設備中
體積小、省空間、設備安裝簡易
可對應線上檢測的外部信號觸發需求
采用*適合膜厚檢測的獨自解析演算法。(已取得磚利)
可自動進行膜厚分布制圖(選配項目)

規格式樣

※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 *小Φ6μm
長期供應 大冢光學OTSUKA RETS-100 日本OTSUKA大冢相位差膜?光學材料檢查設備RETS-100     蘇州市新杉本電子科技有限公司/ 日本大冢OTSUKA 蘇州新杉本直銷/聯系人陳小姐15250013623

1、VR/AR硬件設備：顯示設備、輸入設備、數據設備、跟蹤設備、跟蹤系統、定位系統、其它跟蹤等；

2、VR/AR技術：立體顯示技術、環境建模技術、真實感實時繪制技術、三維虛擬聲音技術、視覺實時動態繪制技術、人機自然交互技術、傳感技術、物理仿真技術、三維全真技術、實時碰撞檢測技術等；

3、VR/AR系統設備：沉浸式虛擬現實系統、桌面式虛擬現實系統、增強式虛擬現實系統、分布式虛擬現實系統、視覺感知設備、聽覺感知設備、觸覺反饋設備、信息處理系統等；

4、VR生產設備及零配件：VR系統半導體、顯示器、光學鏡片、光學模組、微顯示器、傳感器、顯示芯片、顯示屏、微電子技術和系統集成等；

5、VR/AR軟件：建模工具軟件、開發工具軟件、web3D技術、cult3D技術、VRML虛擬現實建模語言、全景技術等；

6、VR/AR娛樂：VR樂園、VR旅游、VR/AR駕駛、VR建模游戲、VR射擊游戲、數字影院、數字影片、互動多媒體、體感互動、3D投射球幕影院、360全息投影、五維影院、VR影視、VR主題公園、VR賽車、VR跳舞、VR密室逃脫、VR二次元等；

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