概要 特長 晶圓清洗更精細，損傷小 ■ 超聲波疊加在石英振動體上，對半導體晶圓進行清洗 。零件振動，其加速度會**表面的污垢。 ■ 實現(xiàn)對半導體晶片的損傷少的清潔清洗 與 化學品接觸的部分使用石英，與使用橡膠材料的設備相比，沒有橡膠溶出或磨損，可以進行清潔清洗。 ■ 由于具有振蕩器冷卻功能，通過氣體（氮氣等）冷卻振蕩器，可以穩(wěn)定地連續(xù)運行而不會發(fā)生頻率波動。 此外，通過冷卻，溫度不會突然變化，使用壽命長。 用途 去除抗蝕劑殘留物 磨邊和灰化后去除聚合物 柵電極清洗 CMP 后清洗