微型 ALN 加熱板

板材采用高導熱、高可靠性的氮化鋁。
由于溫度傳感器內置在加熱器中，因此可以進行**的溫度控制。

特長

• 溫度分布
  小面積、大容量的發熱體均勻地嵌入板面，溫度分布好。
• 普通 400 ℃
  可在 400 ℃ 以下（*高 500 ℃）的大氣中使用，根據條件甚至可以在真空中使用。
• 溫度控制
  由于溫度傳感器內置在加熱器中，因此可以**控制溫度。
• 導熱板 導熱
  板采用氮化鋁，導熱系數高，可靠性高。

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標準規格

型號名稱	MTP-500
產品代碼	MTP500
加熱器額定值	100V　※330W±25%（ワット密度＝13.2W/cm2）
內置熱電偶	K型熱電偶（內置在加熱器中）
使用溫度	大氣；常規 400°C 500°C Max 在 真空中；常規 400°C 500°C Max（取決于真空壓力條件）
板面積	50×50mm

* 容量是室溫下的容量。請注意，它會隨著溫度的升高而降低。

形狀

參考特性

大氣上升特性
（使用 SCR-SHQ 時）

真空上升特性
（使用 SCR-SHQ 時）

各大氣壓、電壓、內置傳感器溫度特性

各氣氛下的板溫分布特性（設定溫度400℃）