ULVAC愛發科株式會社/真空泵/真空計/檢漏儀/高速光譜橢偏儀

株式會社ULVAC (ULVAC)， 是1952年由日本生命保險公司、 松下電器產業股份有限公司等6家公司共同投資建立。真空設備產品主要含油式旋片真空

泵羅茨泵干式真空泵及活塞泵等,應用領域有平板顯示器，半導體，電子零部件，太陽能電池，汽車，醫療，食品等多個行業。

因進口真空泵價格昂貴，返廠維修時間長且價格高等原因，再加上國內真空技術發展迅速，眾多客戶轉而使用國產真空泵替代進口真空泵，或使用

進口真空泵但在國內維修。自2003年創辦東莞大路通起， 公司即承接各式進口真空泵維修如:英國愛德華(Edwards)、德國普旭(Busch)、法國阿爾卡特

(Alcatel)德國萊寶(L eybold)、德國里其樂(Rietschle)、 德國貝克(Becker)、 日本愛發科(Ulvac)、 日本荏原(EBARA)、日本卡西亞瑪(Kashiyama)等。維

修*專業，價格優患，維修后專業檢測，維修產品質量有保證。
ULVAC愛發科集團是一家以在各領域獲得廣 泛應用的真空技術為基礎，以開創精細加工工藝為追求的研究開發型綜合企業集團。

長期以來，作為追求真空極限(Ultimate in Vacuum)的真空技術先驅，我們以電子技術以及信息通信技術為引導,以設備生產為中心，在能源、環保、運輸、醫藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領域，提供先進的真空技術產品。特別是在半導體制造設備以及平面顯示器等制造設備方面，我們提供制造工藝中不可或缺的產品群。另外在技術開發方面，除了設備以外,還涵蓋到材料、分析評價以及售后服務等不同領域，并積極開展愛發科**解決方案。因此，為為提高客戶的滿意度，網羅世界專門企業的愛發科集團正力圖提供不同的綜合*解決方案。

展望21世紀的技術藍圖，ULVAC愛發科集團將次世代能源、精細化工技術、精密機械電子技術以及生物工程技術進行復合，進一步擴 大了技術應用的寬

度和深度，同時推進愛發科解決方案的精細化和高度化。另外，為了對應全球化的產業結構變化，我們將進一步鞏固以解決客戶課題為使命的研究開發

型企業的地位。

ULVAC愛發科集團，是面向各個行業廣泛提供各種綜合性真空設備、空儀器、材料、分析設備，為解決客戶難題，提升客戶企業價值,提供多種多樣

的解決方案的企業集團。

在愛發科ULVAC集團中，Components Business Unit是負責開發、制造、銷售構成綜合性真空設備多種多樣的真空配套產*品的企業團體。真空設備的

性能，是由追求***的真空技術的各種真空配套機器來支撐的。
ULVAC愛發科半導體真空泵株式會社主要產品有:

真空泵(低.中真空)

ULVAC愛發科真空泵(高真空)

真空計

氣體分析儀(工藝氣體監測儀

ULVAC愛發科檢漏儀

高速光譜橢偏儀

ULVAC愛發科水晶振蕩式成膜控制器

真空閥.

ULVAC愛發科DC電源

DC脈沖電源

MF電源
ULVAC愛發科真空泵干泵GR系列是以獲得良好業績和信賴的LR/HR系列為基礎設計的，面向一般產業設計的簡單結構的泵。

LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過**的螺桿形狀和節電技術的融合，使該系列產品成為兼顧高

速排氣氣和低功耗的干式真空泵。

愛發科ULVAC真空泵HR/UR系列

干泵HR/UR系列，根據獨有的高溫均熱化技術，有效利用壓縮熱，實現了在CVD,蝕刻等硬工藝中的高耐久性。在輕工藝中，與ECO-SHOCK的組合*

多可節省約88%的電力。另外,提高了維護性和降低了噪音，全部型號CE對應可能(可選)。

EB槍●EB電源

真空搬送機器人

分子間相互作用定量QCM設備

微量精密攪拌器

小型蒸發設備

低溫設備(CRYO)

熱處理.熱物性評估裝置

ULVAC愛發科真空泵干泵CR系列VerB是獲得國際標準(CE,cTUVus) 的空冷式羅茨型干泵。排氣室內不使用真空油，因轉子和汽缸是不接觸的，可長

時間穩定運轉。

DIS-501

ULVAC愛發科半導體真空泵株式會社:

●雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。

可在大氣壓下實現操作運行。

可實現高極限真空。

●低振動低噪音。

●維護周期可通過計時表控制。