日本KOSAKA LAB小坂ET200臺階儀(探針接觸式輪廓儀/微細形狀測定機)
產品介紹
株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創立的公司，也是日本 家發表光學干杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為 代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位。
KOSAKA ET200 基于 Windows XP 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET200 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。
ET 200 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色 CCD原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。
技術參數
一、測定工件：
1. *大工件尺寸：φ160mm
2. *大工件厚度：50mm
3. *大工件重量：2kg
二、檢出器（pick up）：
1. Z方向測定范圍：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 測定力：10μN to 500μN
4. 觸針半徑：2 μm
5. 驅動方式：直動式
6. 再現性：1σ= 1nm
三、X 軸 (基準軸)：
1. 移動量(*大測長)：100mm
2. 移動的真直度：0.2μm/100mm
3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z軸：
1. 移動量：50mm
2. 移動速度：max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機能
4. 位置決定分解能：0.2μm
五、工件臺：
1. 工件臺尺寸：φ160mm
2. 機械手動傾斜： ± 1mm/150mm
六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它高倍率CCD)
七、床臺：材質為花崗巖石
八、防振臺(選購)：落地型或桌上型
九、電源：AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量：W494×D458×H610mm, 120kg(不含防震臺)
臺階儀的主要工作原理、種類、特點有哪些？
日本KOSAKA LAB小坂ET200臺階儀(探針接觸式輪廓儀/微細形狀測定機)
臺階儀是一種針對物體接觸表面形貌進行測量的高精密測量儀器，日常中大家可以相對接觸的機會較少，但在工業制造行業來說是一款密切相關的儀器設備。
那么我們通過以下幾點分析對臺階儀的工作原理、分類、主要特點進行了解。
日本KOSAKA LAB小坂ET200臺階儀(探針接觸式輪廓儀/微細形狀測定機)臺階儀的工作原理
臺階儀主要工作是用于精密測量，工作原理是，當觸針在檢測物體表面劃過時，接觸體表面微小的峰谷就會讓觸針在進行滑行的同時也做一些上下運動。因此觸針的運動情況在一定程度上也體現了表面輪廓的情況。而當傳感器輸出的信號經過測量的電橋之后，輸出的信號與觸針的平衡位子的位移此刻成正比，調幅信號也隨之出現，經過放大和整流之后，位移信號就從調幅信號中解調出來了，信號就變得相應緩慢，也就能在控制器中被讀出來。隨之噪音濾波器以及波度濾波器會對調制頻率以及外界的干擾信號等因素進行進一步的過濾，誤差所帶來的影響也隨之減小。
日本KOSAKA LAB小坂ET200臺階儀(探針接觸式輪廓儀/微細形狀測定機)臺階儀的種類
臺階儀也被人們叫做臺階測量儀、薄膜測厚儀、細微形狀測定機。由于其內部存在一個樣式不一的傳感器，因此人們對臺階儀進行分類時，也習慣利用傳感器的不同來進行分類，根據傳感器的不同，臺階儀一般被分為電感式、壓電式以及光電式的臺階儀。其中，電感式的臺階儀測量的精度*高，但是相應的電路處理稍顯復雜。而壓電式臺階儀其靈敏度*高，結構也較為簡單。而光電式臺階儀則是屬于較為新型的一種測量儀形式。
日本KOSAKA LAB小坂ET200臺階儀(探針接觸式輪廓儀/微細形狀測定機)臺階儀產品特點
臺階儀不僅測量的精度十分高，并且量程也較大，因此測量的結果可以說十分穩定，也有著十分可觀的重復性，但是由于側頭和和測件之間免不了喲啊相互接觸，因此長此以往，臺階儀的側頭就是分容易變形，這也導致儀器在使用一段時間之后精度也會下降。由于側頭的硬度很多時候都很高，因此并不適用于精密的零件以及軟質的表面等物體的測量工作。
日本KOSAKA LAB小坂ET200臺階儀(探針接觸式輪廓儀/微細形狀測定機)臺階儀的工業用途
·大學、研究實驗室和研究所
·半導體和化合物半導體
·LED：發光二極管
·太陽能
·MEMS：微機電系統
·數據存儲
·汽車
·醫療設備
日本KOSAKA LAB小坂ET200臺階儀(探針接觸式輪廓儀/微細形狀測定機)